硅太阳能电池片电极电镀设备

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN200910215298.7 （22）申请日 2009.12.30

（71）申请人 中国电子科技集团公司第二研究所

地址 030024 山西省太原市和平南路115号

（10）申请公布号 CN101760770A

（43）申请公布日 2010.06.30

（72）发明人 欧萌;赵晓明;张蕾;胡子卿;孟晓涛;谢振民 （74）专利代理机构 山西科贝律师事务所

代理人 陈奇

（51）Int.CI

C25D7/12; H01L21/288;

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

硅太阳能电池片电极电镀设备

（57）摘要

本发明公开了一种硅太阳能电池片电极电

镀设备，解决了现有技术存在的单片太阳能电池片中的多晶硅所占面积与被印导线的面积之比小及镀层质量差的问题。包括在机架(37)内设置的多组各自独立的电镀液槽(38)、电镀液泵及输送管路(39)、电镀整流器电源(43)，在封闭的罩体(40)内顶部设置有行车导轨(41)和搬运小车

(42)，在上、下料位之间设置有多组电镀液槽(38)和喷杯(36)和导电针固定调整机构(25)，喷杯下腔体(23)中固定设置有电镀阳极固定架(26)和电镀阳极网(27)，在喷杯下腔体(23)的外腔体上设置有电镀阳极引出柱(35)和电镀溶液进入口，大大提高了单片多晶硅片的质量。

法律状态

法律状态公告日

2010-06-30 2010-06-30 2010-08-25 2010-08-25 2011-06-15 2011-06-15 2018-02-16

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

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实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止

权利要求说明书

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说明书

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