高度测定方法、高度测定用程序、高度测定装置[发明专利]
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专利名称：高度测定方法、高度测定用程序、高度测定装置专利类型：发明专利发明人：铃木康夫,山口雅哉申请号：CN201180014134.3申请日：20110308公开号：CN102803895A公开日：20121128
摘要：本发明是使用落射照明装置照明被测物或者对被测物投射投影图案，沿着光轴方向扫描且由成像光学系统的摄像装置拍摄被测物或投影图案，将摄像装置中的聚焦测度值达到最大的位置作为被测物的表面位置而获取高度值的高度测定方法、高度测定程序以及高度测定装置。该高度测定方法、程序以及装置是预先求出与被测物表面的倾斜角度对应的高度修正值作为角度修正值，由摄像装置的各像素的求出的高度值求出与各像素位置对应的被测物表面的倾斜角度，由角度修正值求出与所求出的倾斜角度对应的高度修正值，使用所求出的高度修正值修正与各像素对应的被测物的表面的高度值。
申请人：株式会社尼康
地址：日本东京
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：张靖琳
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