氦检仪操作规程

1. 目 的：

正确指导SFJ-211氦检仪的使用。

2. 适用范围：

本操作规程适用于SFJ-21氦检仪使用操作

3. 责 任：

3.1 本操作规程由质保部制定修改。

3.2使用人员严格按照操作规程作业。

4. 设 备:

SFJ-211氦质谱检漏仪

5. 设备专用辅助工具：

氦气、氧气袋、喷枪、波纹管2根，快卸法兰2只

6. 开机前的准备

6.1 确认需要检测的设备内部无水无尘及其他漂浮物，干燥清洁

6.2 确认需要检测的设备放置平稳，氦检仪放置水平，脚轮制动可靠

6.3 确认需要检测的设备内部压力在1000Pa以下；如需做精密检漏 被检设备内部压力≤10Pa

6.4 把氧气袋装满氦气。

6.5 把需要检测的设备（管道）用波纹管连接到氦检仪上。

6.6 连接氦检仪的电源

7.开机操作步骤

7.1 将检漏仪的电源插头插入250V10A的电源插座（接地良好）。

7.2 将后置电源控制面板上的电源开关置于 l 位置。

7.3 主屏幕上出现 启动中 画面。 若启动前检漏仪已关闭很长一段 时间 (数小时)，则可能需要最多三分半钟的时间稳定下来，主 屏幕上出现 待机中 画面，同时提供可靠的量化泄漏率读数。

8. 检漏操作

8.1采用氦气作为跟踪气体来探测漏眼的方法多种多样。本规程适用 真空喷吹法检

测

9. 关机操作步骤

9.1 首先要切断氦检仪和被检工件之间相通的阀门，然后按下操作面 板上的停止按钮，主屏幕上出现 待机中 画面，然后置电源控制 面板上的电源开关置于 O 位置

10.氦检仪使用注意事项

10.1 检测口规管电压≯2000mv

10.2 电源电压不能超过220V额定电压的 ±10%。

10.3 电源插座要接保护性地线

10.4 0% 至 80% 相对湿度，无凝缩

10.5 10°C 至 + 40 °C环境温度

11. 日常维护要求

11.1 对污浊或变色的真空泵油进行更换，建议真空泵油牌号为LV20

11.2 校准

外部校准泄漏：确认标漏样件完好，将标漏样件和氦检仪正确连 接，系统执行自动

校准程序。

a.按下主画面中的 设定 按钮，在设定画面中选定标漏设定后按 确定 按钮

b.进入标漏值设定画面后，在 真空标漏位置 选中 外部NV ,然 后按 确定 按钮，系统进入自动校准程序，2分钟内自动完成

C.按 主画面 按钮，进入待机状态。

11.3 每年的维护

由专业计量检测机构重新校准内部校准泄漏阀 ，光谱仪检 修 ，对标定样件进行校验

12. 其他

排空系统后，可以用干氮吹洗检漏仪的测试端口。 当环境比较潮 湿时，用干氮进行吹洗能保持测试端口尽可能干燥，从而缩短了 抽空系统所需的时间。

要用干氮吹洗：

1.关闭系统电源。

2.从电源输入端拔下电源线，然后卸下系统后端的塑料面板。

3.找到用于排空测试端口的过滤器。 它位于背部接触面右上角的阀组 (阀 V7) 上。

4.拆除过滤器，然后将氮气接头装入端口。 端口螺纹尺寸为 Rc 1/8 (公制)。

5.将氮气管从后置面板右下角的开口处穿入，前级管歧管或机械泵排水管检修门也位于此处。

6.装好后罩并重新连接系统电源