流体泵送及液滴沉积装置[发明专利]

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专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：流体泵送及液滴沉积装置专利类型：发明专利

发明人：斯蒂芬·坦普尔,罗伯特·哈维,罗纳德·兹姆德,罗伯特·

乔纳森·洛,保罗·雷蒙德·德鲁里

申请号：CN03808624.7申请日：20030220公开号：CN16324A公开日：20050727

摘要：在根据喷墨打印的需要进行滴落的流体泵送装置中，采用一种弹性可变形的腔室壁以便产生声波，从而在腔室出口处产生流体流动。优选地，该弹性可变形的腔室壁同时包括刚性和柔性部分。在可选的配置中，通道壁设有在致动方向上可移动的区域。电磁致动器根据磁通调制原理运行。本发明优选为平面构造，采用MEMS技术制造。

申请人：萨尔技术有限公司

地址：英国剑桥市

国籍：GB

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

代理人：刘晓峰

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