零光程差自参考干涉对准系统[发明专利]
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专利名称：零光程差自参考干涉对准系统专利类型：发明专利发明人：蓝科,李运锋,王诗华申请号：CN201310090906.2申请日：20130321公开号：CN104062858A公开日：20140924
摘要：本发明提出一种零光程差自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上，形成光学信号；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准位置；其特征在于：所述光学模块包括一等光程回路，使不同偏振态的正负级次光经过相同的光程后进行干涉。本发明在现有技术基础上进行了改进，可以实现各色光、各级次光零光程差干涉对准，从而提高对准精度。
申请人：上海微电子装备有限公司,上海微高精密机械工程有限公司
地址：201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
国籍：CN
代理机构：北京连和连知识产权代理有限公司
代理人：王光辉
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