静电吸盘及真空处理装置
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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201821488510.8 （22）申请日 2018.09.11
（71）申请人 长鑫存储技术有限公司
地址 230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
（10）申请公布号 CN208706609U
（43）申请公布日 2019.04.05
（72）发明人 不公告发明人
（74）专利代理机构 北京律智知识产权代理有限公司
代理人 袁礼君
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
静电吸盘及真空处理装置
（57）摘要
本实用新型提供一种静电吸盘及真空处理
装置，静电吸盘包括本体、冷却通道及隔离部。本体具有相对的第一表面和第二表面；第一表面被限定出多个冷却区域，其中一冷却区域位于第一表面的中心。冷却通道贯穿第一表面和第二表面且分布于各个冷却区域，冷却气体从第二表面进入冷却通道并穿过第一表面。隔离部自第一表面凸出设置，各个冷却区域通过隔离部隔离，冷却气体在各个冷却区域内流动，其中，位于第一
表面的中心的冷却区域内的冷却气体的流量大于其他冷却区域内的冷却气体的流量。
法律状态
法律状态公告日
2019-04-05
授权
法律状态信息
授权
法律状态
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说明书
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