用于CMP的含硅烷的抛光组合物
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（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利说明书
（21）申请号 CN01812364.3 （22）申请日 2001.06.14 （71）申请人 卡伯特微电子公司
地址 美国伊利诺伊州
（10）申请公布号 CN1249185C （43）申请公布日 2006.04.05
（72）发明人 史蒂文·K·格鲁姆宾;王淑敏 （74）专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
代理人 贾静环
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
用于CMP的含硅烷的抛光组合物
（57）摘要
一种抛光组合物，包含至少一种溶液
形式的硅烷化合物及至少一种磨蚀剂，可用以抛光基材表面特征。 法律状态
法律状态公告日
2003-09-03 2003-11-19 2006-04-05
公开
实质审查的生效 授权
法律状态信息
公开
法律状态
实质审查的生效 授权
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说明书
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