干涉仪和用于制造干涉仪的方法[发明专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：干涉仪和用于制造干涉仪的方法专利类型：发明专利
发明人：R·诺特梅耶,C·胡博尔,R·罗德尔,B·斯坦,C·谢林,C·D·
克莱默
申请号：CN201980040589.9申请日：20190410公开号：CN112313488A公开日：20210202
摘要：本发明涉及一种干涉仪（100），该干涉仪包括：具有致动空隙（108）的保持元件（106）；第一镜面元件（102），该第一镜面元件以与所述致动空隙（108）对置的方式布置或者能够布置在所述保持元件（106）上；以及第二镜面元件（104），该第二镜面元件以镜面间距以与所述第一镜面元件（102）对置的方式布置或者能够布置，以用于形成光学缝隙（112），其中所述第一镜面元件（102）布置或者能够布置在所述第二镜面元件（104）与所述保持元件（106）之间并且所述光学缝隙（112）通过所述第一镜面元件（102）与所述致动空隙（108）在空间上分开。此外，所述干涉仪（100）包括由第一致动电极（114）和第二致动电极（116）构成的电极对，其中所述第一致动电极被限定、布置和/或能够布置在所述第一镜面元件（102）或者（104）之一处或者中，并且其中所述第二致动电极被限定、布置和/或能够布置在所述致动空隙（108）的与第一致动电极（114）对置的一侧处。所述镜面间距能够通过将电压加载到所述电极对上这种方式来改变。
申请人：罗伯特·博世有限公司
地址：德国斯图加特
国籍：DE
代理机构：中国专利代理(香港)有限公司
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