两镜面干涉腔干涉仪[实用新型专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：两镜面干涉腔干涉仪专利类型：实用新型专利发明人：林燕彬
申请号：CN201520278018.8申请日：20150428公开号：CN205066683U公开日：20160302
摘要：本实用新型涉及一种两镜面干涉腔干涉仪，主要包括激光器(1)、透镜(2)、分束镜(3)、准直镜(4)、平面镜(5)和反射镜(6)，按照激光光路的方向依次设置激光器(1)、透镜(2)、分束镜(3)、准直镜(4)、平面镜(5)和反射镜(6)，所述待测元件(8)设置在平面镜(5)和反射镜(6)之间。本实用新型提供的两镜面干涉腔干涉仪通过两镜面构成的干涉腔共光路设计方式，可以用于光学元件尤其是用于光学平面检测，检测精度高，并且可以根据待测元件进行调整，具有很强的适应性。
申请人：林燕彬
地址：350200 福建省长乐市吴航杨井巷21号
国籍：CN
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