一种新型副塔机构[实用新型专利]
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专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：一种新型副塔机构专利类型：实用新型专利发明人：李俊强,李辉,王体申请号：CN201821486358.X申请日：20180912公开号：CN208738188U公开日：20190412
摘要：本实用新型公开了一种新型副塔机构，包括支撑板、副塔进气固定板、吸尘筒和副盘吸头，所述支撑板设置在支撑座的上方，支撑板与支撑座嵌合，所述副塔进气固定板设置在支撑板倾斜端面的上方，并在副塔进气固定板的两端设置轴承，所述副盘吸头设置在副盘吸头固定座上，并与气路连通，所述吸尘筒固定座设置在支撑板的竖直端面上，并在吸尘筒固定座上设置吸尘筒，本实用新型采用2根导向杆，能够保证石墨盘和副盘吸头固定座的底面完全贴合，且加工难度大大降低，装配简易方便，稳定性明显提升；采用直通的气路，与石墨盘的气腔直通，对气流影响更小，正压负压切换更及时，保证了机构运行的稳定性。
申请人：深圳市诺泰自动化设备有限公司
地址：518000 广东省深圳市宝安区沙井街道马安山第二工业区34栋二层1号
国籍：CN
代理机构：深圳市中联专利代理有限公司
代理人：李俊
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